二氯二甲基硅烷生產工藝有間接法和直接法。

　　現在工業上均采用直接法，該法由美國E.G.羅喬于1940年發明。生產中以銅或銅鹽為催化劑，在300℃左右使一氯甲烷與硅粉直接反應，這是一個復雜的非均相反應，反應混合物主要含二甲基二氯硅烷（占75%）、一甲基三氯硅烷（占20-30%）、三甲基一氯硅烷（占5%）及甲基二氯硅烷；這些組分的沸點分別是70℃，66.4℃，57.9℃和41℃，采用乳化塔進行分離。根據需要，其組成可以通過變更操作條件進行調節。