四氯化硅生產工藝
硅鐵氯化法先將硅鐵加入氯化爐內，然后加熱至300℃左右，以7.5 m3/h通人氯氣進行反應生成四氯化硅，經冷凝后，得到粗品四氯化硅。將銻粉(為四氯化硅重量的0.05%)加入粗四氯化硅中進行精餾，經回流30 min然后取56～59℃的餾分，制得工業級四氯化硅成品。其
Si+2C12→SiCl4
將工業級四氯化硅進一步精餾并長時間回流，可制得高純四氯化硅。
硅鐵氯化法先將硅鐵加入氯化爐內，然后加熱至300℃左右，以7.5 m3/h通人氯氣進行反應生成四氯化硅，經冷凝后，得到粗品四氯化硅。將銻粉(為四氯化硅重量的0.05%)加入粗四氯化硅中進行精餾，經回流30 min然后取56～59℃的餾分，制得工業級四氯化硅成品。其
Si+2C12→SiCl4
將工業級四氯化硅進一步精餾并長時間回流，可制得高純四氯化硅。