結構式
             

CAS:        10025-78-2
分子式:     Cl3HSi
分子量:   135.45

中文名稱:  三氯硅烷
                   三氯氫硅
                   硅氯仿
                   硅仿

英文名稱: Trichlorosilane
                  trichloro-Silane
                  Silicochloroform

性質描述: 無色液體，極易揮發。溶于苯、醚等多數有機溶劑。熔點-127 °C ，沸點32-34 °C，密度1.342 g/mL at 25 °C，折光率1.4-1.402，閃點7 °F，蒸氣壓9.75 psi ( 20 °C)，蒸氣密度1 (vs air)

    三氯硅烷在常溫常壓下為具有刺激性惡臭易流動易揮發的無色透明液體。在空氣中極易燃燒，在-18℃以下也有著火的危險，遇明火則強烈燃燒，燃燒時發出紅色火焰和白色煙，生成SiO2、HCl和Cl2：SiHCl3+O2→SiO2+HCl+Cl2；

三氯硅烷的蒸氣能與空氣形成濃度范圍很寬的爆炸性混合氣，受熱時引起猛烈的爆炸。它的熱穩定性比二氯硅烷好，在900℃時分解產生氯化物有毒煙霧(HCl)，還生成Cl2和Si。遇潮氣時發煙，與水激烈反應:
2SiHCl3+3H2O→(HSiO)2O+6HCl；

在堿液中分解放出氫氣：
SiHCl3+3NaOH+H2O→Si(OH)4+3NaCl+H2；

與氧化性物質接觸時產生爆炸性反應。與乙炔、烴等碳氫化合物反應產生有機氯硅烷：
SiHCl3+CH≡CH→CH2CHSiCl3、SiHCl3+CH2=CH2→CH3CH2SiCl3；

在氫化鋁鋰、氫化硼鋰存在條件下，SiHCl3可被還原為硅烷。容器中的液態SiHCl3當容器受到強烈撞擊時會著火。可溶解于苯、醚等。

無水狀態下三氯硅烷對鐵和不銹鋼不腐蝕，但是在有水分存在時腐蝕大部分金屬。

生產工藝:沸騰氯化法硅粉經干燥后加入氯化沸騰爐，與通人爐中的干燥氯化氫氣體在340℃進行反應。生成的粗三氯氫硅經濕法除塵器、列管冷凝器去蒸餾塔分離四氯化硅，由蒸餾塔出來的三氯氫硅氣體經冷凝，制得三氯氫硅成品。
其Si+3HCl→SiHCl3+H2

用途:  用于制造硅酮化合物、用作高分子有機硅化合物的原料。三氯氫硅不僅是制造硅烷偶聯劑和其它有機硅產品的重要中間體，還是制造多晶硅的主要原料。硅烷偶聯劑是一種重要的、高科技含量、高附加值的有機硅復合材料，通過硅烷偶聯劑可使非交聯樹脂實現交聯固化或改性，因此在玻璃纖維、鑄造、輪胎橡膠等行業得到了日益廣泛的應用。生產三氯氫硅的主要副產品四氯化硅也是制造有機硅的主要原料，它的制成品有硅酸酯、有機硅油、高溫絕緣漆、有機硅樹脂、硅橡膠和耐熱墊襯材料等。高純的四氯化硅還是制造高純二氧化硅、無機硅化合物、石英纖維以及光導纖維的重要原料。

多晶硅產品的主要用途有
(1)可做成太陽能電池，將輻射能轉變為電能；
(2)高純的晶體硅是重要的半導體材料；
(3)金屬陶瓷、宇宙航行的重要材料；
(4)光導纖維通信，最新的現代通信手段；
(5)性能優異的硅有機化合物。